???????????????????????????????????Χ??????——??????1996????????????????????????????????????????±120g??±480g??????????Χ?????SPI??PSI5-V1.3??????????????Χ??????λ???????????????????????????棬?????????????????????????μ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ж???????????????????????????????????????????????????????????????????????????楨???????氳???????????????????

????????????MEMS??????????SMA582??SMA592

???????????Χ?????????????????????????????SMA58x?????±120g?л???±240g??????????????????????????SMA59x????????????????????????Χ????????????????Y?????????10λ???????????????Χ????????????1LSB/g??4LSB/g??????????

???????????????????PSI5????????PSI5-V.1.3????????????????????????ɡ????????????????????4???????????в???????????????????????????????????????????????????????????IDATA????????????????????????????????????????????????????Χ??????????????????о????

???????????SMA58x??SMA59x??????Ч?????????????????????????????????????????????(offset)?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????213Hz??416Hz???????????????????