????????????????????????????National Aeronautics and Space Administration??NASA??????????????????????????????????????????????????????????????κ?????????????????????????????????????10???????????

???????????????????????????????????????????????????????????е??С????????????????????????????????????????????

??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ж????????????

???????????????????•???•???????????????“???????????????”??????

???????????????????•???•?????????RWJF????????????????“???????????????”?????????????????????????????????????????????

????????????????????????????????á???????????Ч??????????????????????????????

???????????????????????????????????????Щ????????????????????????????????????п????????????????κε????

“???????????????????????δ??????????????·????е??????????????????????????豸???????”?????????????????????о????????????Paul Mudgett?????

“????????????????????????????????????????????2?????????????????????????????•???•????????????????????????????????????????????????????”Mudgett?????

“???????????????”?????????ε??????????????????????2017??12??13?????????????2018??1??31???????????????

??????????ν???2018??3?μ????????????????Χ????????Χ??????5????????????????????????

??????Χ???????2018??9??30??????????????????????????????????о???????в??????????????

?????????????2018??10?????????10?????????????

???????????????????????????????????????Э???????•???•???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

????????

??MEMS???????γ??????2017??10??20~22??????????????????????MEMS??????????????????MEMS???硢??????????????????????????????????????????????о??????????????緋??????????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????????????????????ι????????????????????????????????鼰?????????????guolei@memsconsulting.com????綽??13914101112

?????????

?????????????????г?-2016?桷

?????崫???????????г???

??CCS??????л???????MEMS???崫??????CCS801??

??AMS VOC MEMS???崫??????AS-MLV-P2??

????????崫??????????????桷