????????綣?????????????????е??????????????????????????????????MEMS?????????????????????е???????????????????е????????????PMUT???????????е????????????CMUT???????????????????????籡????????????????????????????????Щ???????????е???????????????????????????????μ????????????????????????к?????

?????????????????????????3??????KU Leuven?????о??????Microsystems & Nanoengineering?????????????“Flexible micromachined ultrasound transducers (MUTs) for biomedical applications”???????????????????????????????е????????????MUT?????????????á???????????????????ɡ?????????????????????????????????????????PMUT??CUMT????????????г????????????????????????????????????????Ч?????????????MUT??????????????????????????

????????????MUT????

????MUT????????

????????????????????????????????????????У?????????????????壩???????????????洦?????????????????????????????????γ????????????????????????Χ????п????????????????????????????е??????????????????????е????????????????????????????????????????????????

??????????????????г????????????????????????????????г???????????Щ????????г????????????????????????????Щ???????????????????????и????????????????Щ????????????漰???????????????????????????????????????????????????????????????

??????????????????????????????????????????????????????????????и????????????????????????????MEMS????????????????????????????÷????漰??????????????????????????????????????????????????????????????????У????????????????????

????MUT?????????

????MUT????

PMUT???????????籡??????????????????????????????????????PMUT??????????????????????????????????????????????е????????????????????????????????в????????????????????????????????PMUT???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????PMUT??????????

????PMUT???????

????PMUT??????

???????????PMUT????????

CMUT???е?????????????????????????????????λ????????и??????????????????????????CMUT??????????????????繅????????繅?????????????????????ж????????????PUMT?????CMUT?????????????????????????????????????????????????CMUT?????????С?

????CMUT???????

????CMUT??????

???????????CMUT????????????????????CMUT??

??????MUT?У??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е????????????????MUT???????????????????????-PDMS??????????????????????????????????????????????????????д??????????????????????????????????MUT?????????????????????????綣???????????????????SNR????????????????????????????????????????У????????С??????????е????????????????????????????

???????????????????????????????????????????Ч???????????????????????????????????е????????????????????????????о???????PMUT??CMUT?????????Щ????????????????????????????????????????????????о??????????￡??δ??????ú?????????????

?????????https://www.nature.com/articles/s41378-024-00783-5

?????????

????????????????????г?-2025?桷

?????е???????????????????-2023?桷

?????????е????????????PMUT?????????????????-2022?桷

??????????е????????????CMUT?????????????????-2022?桷

???????????????????????????г?-2022?桷