- ??First Sensor?????STARe?????????о??????????
- ???????????Metalens???????????-2024?桷
- ??61???????????????γ????????????????
- ?????????????????????????????繅????
- ??60???????????????γ??????MEMS?????????????????
- ??59???????????????γ?????????м????????
- ???????RF?????????????????????-2024?桷
- ??TDK InvenSense????????????IMU??IAM-20685?????????
- ??58???????????????γ????????????????????
- ????????????MEMS?????????????????????????????????
????????????????????????????????????????????????
2024-06-19 10:19:28 ???????????? ?????0 ?????
??????????????????????????????????и???????ег???????????????????????????????á???????????????????????????????????Щ?????????????????????????????????д????????????
???????????????????????????????????????????????о???????????????????“???????nanostring??”???????????????ег?????????????????????????????????????δ?е?????????????????????κ?????????????????????????????????????????????????????????С??????
?????ег??????????С????????????????г????????????????????????Χ?????????????????????????????????????????о??????????????DNA??????????С???????????????????????????????????С?????????????????????????????????仯??????仯?????????????????????????????
?????г?????????????г?????????????????????????????????μ??о??У???????????????????Richard Norte????????????Miguel Bessa?????????о????????????????г????????????????????????????????????????????“??????”?????3??????????70?????
“???????????????????1????????????????????????????????????????????????????κ??′???”Norte???“???????????????????????????????????????”
Norte?????????????????????????????????о???????????С??????????????????????????????2????????????????????????????????????????£?????????????100???????ζ??????????????100000?Σ????????????С??
???δ?е??????
???汴?????
???????????????????о?????????????????г??????????????????裨Si₃N₄???????????????????汴????????????????????????Ч??????????????????????????о????????????????????????????о??????????????Si₃N₄????????????????????????????????
“??????”г?????????????
??????????ó????3?????????????4.3 x 10⁵??г??????????????????????????о??????Si₃N₄??????????????????????LPCVD???????????2????辧??????????????????????????????????????“???”?????????????????????????Norte??????????????????????????????????????κζ???????????????????????????????????????
?????????????
????????????б??????о?С????????????????????ù?????????????????????????Щ“???”????????????й?г????????????????????????????й???????????????????Щ????????????????????????????3???????Si₃N₄??????????????????????6.5 x 10⁹????????????????????м????????е?н?г????????????
??????????
???о???????????Nature Communications?????????????????????о???г????????????????????????????????????????“??”????????????в???Norte???????“?????ζ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????С?????????е?????????????????????????????100??????????????????????????κ???????”
?о?????????????????????????????????檔????????о?????????????????????????????????侵??Norte???“??Щ????????????????????????????????罫??????????????‘???????’????????????????????????????????????????????淨??????”
?????????
??????????????????????????????????е??????
???????????
??????????
- ????????????MEMS?????????????????????????????????
- 1??????????С????????MEMS?????????о?????
- ?3D???????????Ρ??????????????????÷????????????????
- ?????ī????????繅???????????????????
- ???и???????????????????????????????????????????????
- ????AlN???????????????紥????????
- ?????????????????????????????????е????
- ????????????????????????????????????????????????????
- ???????????????????????????????????
- Merit Sensor???????MEMS?????????????
???????????
- 3.2K????????????MEMS???????????????????????????...
- 2KMerit Sensor???????MEMS?????????????
- 1.2K???????MXene/?????????????????????????
- 839????????????????????????????????????
- 810???????????????????????????????????????е...
- 444??????????????????????????????????????????...
- 38????????????????????????????е??????
- 35???????????ī?????????????о????