?й??????????????о?? ????????

??????? ????

???????????????????????????IEC 62047-25?????MEMS????????????????к????????????????????????????????????????????????С???????????????????????á???Ч????????????????????????з???????????????????????????????MEMS??????????????о????????????MEMS???????????????

1. ??????

MEMS??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS???????????????????棬??????????????????????????????????磬??????????????????????????????????MEMS???????????iPhone??????????????????????л??????????????????????????????????????????MEMS???????????????

?????MEMS??????????????????????????????????????廩????????????????е?13?????е?49?????е?55????????????????????????λ???о??????????????????????????????????????????MEMS????????????????к??????????????????????????????г?????????????????????

2. ????????????

2.1 ????

MEMS?о??????????????????????????????棺

(1) ???????

????MEMS??????????￡????????????????????????????????????????С?????????????????????????????к???????????????????????????????仯??????????Ч???????????Ч???????????????????б?????????????????????????????????????????????????????????о????????????о?????????????????????????????????????л????о???

(2) ?????????о?

??????????е???????е??????????????????????????????????????????????о???

(3) ???е???????????????о?

????MEMS???????????????????????????е?????????????????????????????????????????????????MEMS????????IEC/TC47/SC47F??MEMS?????????????????????б??????IEC 62047-17??????????????????е??????17??????????????????е???????????????IEC 62047-18??????????????????е??????18???????????????????鷽?????????????????????????????MEMS????????ж?????????п????????

???????鷽???????MEMS?????????????????????????????淶??????????MEMS?????????????????????????п??????????????????????MEMS??????о???????????????????豸?У?IEC/TC47/SC47F????IEC 62047-20??????????????????е??????20??????????????????淶?????MEMS??????о????????????????IEC 62047-5??????????????????е??????5?????RF MEMS??????????淶????豸?????MEMS?????????????????????????????????????IEC????????????MEMS????淶???????????MEMS???????????г?????

2.2 ?????????

2013???????????????????????????IEC/TC47/SC47F?????????MEMS????????????????к????????????????????????????????????IEC/TC47/SC47F????????????????????????????MEMS?????????????з??????????壺

(1) ???MEMS??????

MEMS??????????????????

?? ????X???????????????????????LIGA????????1???????

?? ?????е????????????????????

?? ??????·????????????????????????MEMS??????????????????????MEMS??????????????弼???????????????????е??????????????Ч??????????п??????????????????????????·???????????MEMS??????????????

????MEMS????????????????????п???????????????????????????????????弼?????к?????????????MEMS?о?????????????к??????????????????￡?MEMS???????????????????????????????????????????????????飬???????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????MEMS??????????????????м???????????塣

(2) ?????????????????

??????MEMS??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????С?????????????????????????????????о???????????????????????????????÷?Χ???????????????γ??????????????á???Ч???????????MEMS???????С????????????????????????к??????????д?????????????????????????Ч??????????????Ρ?

??????????????????????????????????????????????????MEMS????????????о?????????????????????????????????????????Ч??????????????????????о?????????????????????????????????????????????????о????????????????????????????????????????о???????MEMS?????????????????????á?

2.3 ??????????

?1????????????????????????MEMS?????????1?У????????λ???????????MEMS?иü??????????????????????????????￡?????????????????????????????????????????У??????С?????????к???????????????????????ж??????????????????

???????????????????з??????????????????????????????в?????????????????????????????????????????????????1???????????????????????????????????????????С??

?1 ?????MEMS?????????

??????????????????????????????????????????????????????????????????????1??????????????????????????????????????????????????????С??

?????е???????????????

(1) ?????豸??????????????????????????????????????????У?

(2) ????????????????

(3) ??????????????????????

?????????

??MEMS????г??????????????-2017?桷